千禧年半导体生存指南

第一百三十一章 光刻机技术路线(3/3)


    因为这些都是发表在公开期刊上的内容,但凡对光刻机感兴趣的人,都有机会阅读到。

    但是周新能够准确说出不往ArF方向投入的原因,即便从业人员,都没有办法知道的内容。

    这一章的科普性质内容有点多,但是没办法,不说清楚光刻机怎么作业,大家会看的一头雾水。

    科普内容一共是400字,也就2起点币,算一下也还好。

    (本章完)

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